SPS壓力燒結(jié)爐，全稱為放電等離子燒結(jié)爐（Spark Plasma Sintering Furnace），是一種先進的材料制備技術(shù)設(shè)備，廣泛應用于物理學、材料科學、航空航天等領(lǐng)域。是利用脈沖電流通過粉末顆粒時產(chǎn)生的放電等離子體，實現(xiàn)材料的快速燒結(jié)。當脈沖電流通過粉末顆粒時，顆粒之間的氣隙會發(fā)生電火花放電，產(chǎn)生高溫等離子體。這些等離子體中的活性粒子具有高的能量，能夠促進粉末顆粒表面的氧化膜分解，提高粉末表面的活性，并促進顆粒間的接觸和粘結(jié)。在放電等離子體的高溫作用下，粉末顆粒表面迅速升溫，達到燒結(jié)溫度，進而在外部壓力的作用下形成緊密的燒結(jié)體。
SPS壓力燒結(jié)爐其詳細的操作指南：
一、實驗前準備
安全確認
穿戴PPE：佩戴耐高溫手套、防護眼鏡、實驗服。
環(huán)境檢查：確保設(shè)備周圍無雜物，通風良好，冷卻水、壓縮空氣、電源供應正常。
設(shè)備狀態(tài)：確認爐體冷卻至室溫，真空系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)無泄漏。
樣品與模具準備
選擇模具：根據(jù)樣品尺寸和形狀選擇合適的石墨模具（通常為圓柱形）。
清潔模具：用無水乙醇或丙酮清洗模具內(nèi)壁、上下沖頭、墊塊，去除油污和雜質(zhì)，晾干或烘干。
裝填樣品：
將粉末樣品均勻裝入模具內(nèi)腔。
使用刮刀刮平表面。
放入下沖頭，必要時加入石墨墊塊。
確保模具組件（底座、模具、沖頭）正確組裝，無歪斜。
設(shè)備檢查
檢查冷卻水流量、溫度是否正常（通常要求水溫<25°C，流量符合要求）。
檢查液壓油位是否正常。
檢查真空泵油位和顏色，如有必要進行更換。
確認所有安全聯(lián)鎖裝置（爐門、急停按鈕）功能正常。
二、裝爐與密封
裝入模具
將組裝好的模具小心放入爐膛內(nèi)，確保其位于上下壓頭的中心位置。
調(diào)整位置，避免模具與爐壁或電極發(fā)生摩擦。
關(guān)閉爐門
緩慢、平穩(wěn)地關(guān)閉爐門。
手動或自動鎖緊爐門密封裝置，確保真空密封良好。
三、抽真空與氣氛置換（如需要）
啟動真空系統(tǒng)
開啟機械泵，對爐腔進行粗抽真空。
當真空度達到一定水平（如<10 Pa），根據(jù)設(shè)備配置，可能需要開啟分子泵或擴散泵進行高真空抽氣。
真空度檢查
觀察真空計讀數(shù)，確認真空度能達到工藝要求（通常<10?¹Pa或更高）。
保持高真空一段時間，檢查有無漏氣（真空度是否穩(wěn)定）。
氣氛置換（可選）
如果工藝要求在惰性氣氛（如高純Ar）下燒結(jié)：
先將腔體抽至高真空。
向腔體內(nèi)充入高純惰性氣體至接近常壓。
再次抽真空。
重復此過程2-3次（稱為“置換”），以最大限度去除氧氣和水分。
最后一次充入惰性氣體至工藝壓力（常為微正壓）。
四、設(shè)置燒結(jié)程序與啟動
開啟控制系統(tǒng)
打開控制柜電源、計算機電源。
啟動SPS控制軟件。
設(shè)置燒結(jié)參數(shù)
在軟件界面中輸入或選擇預設(shè)的燒結(jié)程序，關(guān)鍵參數(shù)包括：
升溫速率（°C/min）
目標溫度（°C）
保溫時間（min）
壓力曲線：預壓、燒結(jié)壓力、保壓壓力（kN或MPa）
脈沖電流模式（如直流、脈沖比）
真空度/氣氛壓力設(shè)定
冷卻方式（隨爐冷卻、氣淬等）
系統(tǒng)自檢
軟件通常會進行系統(tǒng)自檢（檢查水、電、氣、真空、壓力等狀態(tài)），確認所有條件滿足后方可啟動。
啟動燒結(jié)程序
確認所有參數(shù)無誤，點擊“開始”或“運行”按鈕。
系統(tǒng)將自動按設(shè)定程序執(zhí)行：升溫、加壓、保溫、降溫。
五、運行監(jiān)控
實時監(jiān)控
在控制軟件界面上實時監(jiān)控：
溫度（熱電偶測量值）
壓力（實際施加壓力）
位移（樣品致密化收縮量）
電流/電壓（放電狀態(tài)）
真空度/氣氛壓力
觀察曲線是否按預期變化，有無異常波動或報警。
安全值守
實驗過程中操作人員不得離開，隨時準備應對突發(fā)情況（如報警、漏水、漏氣）。
六、實驗結(jié)束與取樣
程序結(jié)束
燒結(jié)程序完成后，系統(tǒng)自動停止加熱和加壓。
按設(shè)定進行冷卻（通常需數(shù)小時）。
恢復常壓
待爐溫完q冷卻至安全溫度（通常<100°C，具體看手冊），方可進行下一步。
如果使用了保護氣氛，先關(guān)閉氣源。
緩慢向爐腔內(nèi)充入惰性氣體或空氣至常壓（防止壓力突變損壞設(shè)備或樣品）。
打開爐門
解鎖并打開爐門。
取出樣品
使用專用工具（如坩堝鉗）小心取出模具。
在模具冷卻后，用頂出裝置將燒結(jié)好的樣品從模具中頂出。
清潔與記錄
清潔模具和爐膛（按日常維護要求）。
記錄實驗參數(shù)、樣品狀態(tài)和設(shè)備運行情況。
